Faglig innhold

Emnet gir en innføring i mikro- og nanofabrikasjon, inkludert silisium teknologi for framstilling av sensorer og aktuatorer. Det blir gitt grundig innføring i utvalgte deler av halvlederprosessering i renrom, som fotolitografi, etsing og metallisering. Grunnleggende mekanikk for design av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) vil behandles. Ulike sensor- og aktuatorprinsipper, slik som piezoresistivt, kapasitivt, elektrostatisk og termisk, vil gjennomgås. Design og framstilling av ulike typer sensorer, slik som trykksensorer og akselerometre, vil gjennomgås i detalj.

Læringsutbytte

Kunnskaper: Kandidaten har: - inngående kunnskaper om utvalgte deler av teknologiske prosesser og utstyr for fremstilling av halvlederkomponenter og integrerte kretser, samt de ulike fabrikasjonsprosessene for produksjon av MEMS - kunnskaper om grunnleggende egenskaper og anvendelser av mikrosystem-teknologi - kunnskaper om generelle karakteristika for sensorer og aktuatorer - inngående kunnskaper om funksjonsprinsipper og oppbygging av ulike typer mikro-elektromekaniske sensorer og aktuatorer - kunnskaper om de viktigste avveiningene og grunnprinsippene for design og optimalisering av MEMS. Ferdigheter: Kandidaten kan: - gjøre fotolitografi og enkel prosessering av halvledere i renrom, samt gjøre karakterisering med utvalgte teknikker - benytte ervervet kunnskap til å foreslå valg av egnet sensor- eller aktuatorprinsipp for å oppnå en bestemt funksjon - benytte ervervet kunnskap til å velge optimalt sensor- eller aktuatordesign - gjennomføre enkle beregninger av elektromekaniske egenskaper for mikroelektromekaniske komponenter - benytte ervervet kunnskap til å foreslå egnet prosess for framstilling av en spesifikk mikro-elektromekanisk komponent. Generell kompetanse: Kandidaten har: - nødvendig kunnskap for videre studier av virkemåte og teknologi for fremstilling av avanserte halvlederbaserte elektroniske komponenter, samt elektronisk krets- og systemdesign. - nødvendig kunnskap for å kunne sette mikrosystemteknologi i sammenheng med viktige utviklingstrekk innen informasjonsteknologi.

Læringsformer og aktiviteter

Forelesninger, regneøvinger, og laboratorieøvinger i renrom og karakteriseringslab.

Obligatoriske aktiviteter

• Regneøvinger
• Laboratorieøvinger

Spesielle vilkår

Anbefalte forkunnskaper

TFE4146 Halvlederkomponenter eller tilsvarende. TFY4220 Faste stoffers fysikk eller tilsvarende. TMT4110 Kjemi eller tilsvarende. TMT4185 Materialteknologi eller tilsvarende. TFE4172 Grunnlag for faststoffelektronikk eller tilsvarende.

Kursmateriell

Oppgis ved undervisningsstart

Studiepoengreduksjon