Emne - Mikro- og nanofabrikasjon - TFE4167
TFE4167 - Mikro- og nanofabrikasjon
Om emnet
Vurderingsordning
Vurderingsordning: Skriftlig skoleeksamen
Karakter: Bokstavkarakterer
| Vurdering | Vekting | Varighet | Delkarakter | Hjelpemidler |
|---|---|---|---|---|
| Skriftlig skoleeksamen | 100/100 | 4 timer | C |
Faglig innhold
Emnet gir en innføring i mikro- og nanofabrikasjon med fokus på silisium teknologi for framstilling av sensorer og aktuatorer. Grundig innføring i utvalgte deler av halvlederprosessering i renrom, som fotolitografi, etsing og metallisering. Grunnleggende mekanikk for design av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) vil behandles. Ulike sensor- og aktuatorprinsipper, slik som piezoresistivt, kapasitivt, termisk og optisk prinsipp vil gjennomgås. Design og framstilling av ulike typer sensorer slik som trykksensorer, akselerometre og gassensorer vil gjennomgås i detalj. I tillegg vil optiske, termiske og biologiske sensorer og aktuatorer og deres anvendelser diskuteres.
Læringsutbytte
Kunnskaper: Kandidaten har: - inngående kunnskaper om utvalgte deler av teknologiske prosesser og utstyr for fremstilling av halvlederkomponenter og integrerte kretser, samt de ulike fabrikasjonsprosessene for produksjon av MEMS - kunnskaper om grunnleggende egenskaper og anvendelser av mikrosystem-teknologi - kunnskaper om generelle karakteristika for sensorer og aktuatorer - inngående kunnskaper om funksjonsprinsipper og oppbygging av ulike typer mikro-elektromekaniske sensorer og aktuatorer - kunnskaper om de viktigste avveiningene og grunnprinsippene for design og optimalisering av MEMS. Ferdigheter: Kandidaten kan: - gjøre fotolitografi og enkel prosessering av halvledere i renrom, samt gjøre karakterisering med utvalgte teknikker - benytte ervervet kunnskap til å foreslå valg av egnet sensor- eller aktuatorprinsipp for å oppnå en bestemt funksjon - benytte ervervet kunnskap til å velge optimalt sensor- eller aktuatordesign - gjennomføre enkle beregninger av elektromekaniske egenskaper for mikroelektromekaniske komponenter - benytte ervervet kunnskap til å foreslå egnet prosess for framstilling av en spesifikk mikro-elektromekanisk komponent. Generell kompetanse: Kandidaten har: - nødvendig kunnskap for videre studier av virkemåte og teknologi for fremstilling av avanserte halvlederbaserte elektroniske komponenter, samt elektronisk krets- og systemdesign. - nødvendig kunnskap for å kunne sette mikrosystemteknologi i sammenheng med viktige utviklingstrekk innen informasjonsteknologi.
Læringsformer og aktiviteter
Forelesninger, regneøvinger, og laboratorieøvinger i renrom og karakteriseringslab.
Obligatoriske aktiviteter
- Regneøvinger
- Laboratorieøvinger
Mer om vurdering
Skriftlig eksamen vil bli gitt bare på engelsk. Ved utsatt eksamen (kontinuasjonseksamen) kan skriftlig eksamen bli endret til muntlig eksamen.
Spesielle vilkår
Krever opptak til studieprogram:
Electronic Systems Design (MSELSYS)
Elektronisk systemdesign og innovasjon (MTELSYS)
Nanoteknologi (MTNANO)
Anbefalte forkunnskaper
TFE4146 Halvlederkomponenter eller tilsvarende. TFY4220 Faste stoffers fysikk eller tilsvarende.
Kursmateriell
Oppgis ved undervisningsstart
Studiepoengreduksjon
| Emnekode | Reduksjon | Fra | Til |
|---|---|---|---|
| TFE4180 | 3.7 | HØST 2018 | |
| TFE4177 | 3.7 | HØST 2018 | |
| TFE4225 | 3.7 | HØST 2018 | |
| TFE4162 | 3.7 | HØST 2018 | |
| FE8130 | 3.7 | HØST 2018 | |
| TFE4168 | 3.7 | HØST 2019 |
Ingen
Versjon: 1
Studiepoeng:
7.5 SP
Studienivå: Høyere grads nivå
Termin nr.: 1
Undervises: VÅR 2023
Undervisningsspråk: Engelsk
Sted: Trondheim
- Elektronikk
- Elektronikk og telekommunikasjon
- Materialteknologi og elektrokjemi
- Material- og faststoffysikk
- Faste stoffers fysikk
- Fysikalsk elektronikk
- Teknologiske fag
Eksamensinfo
Vurderingsordning: Skriftlig skoleeksamen
- Termin Statuskode Vurdering Vekting Hjelpemidler Dato Tid Eksamens- system Rom *
- Vår ORD Skriftlig skoleeksamen 100/100 C 05.06.2023 09:00 PAPIR
-
Rom Bygning Antall kandidater DI42 Idrettssenteret (Dragvoll) 1 Storhall del 2 Idrettssenteret (Dragvoll) 33 SL323 Sluppenvegen 14 1 - Sommer UTS Skriftlig skoleeksamen 100/100 C
-
Rom Bygning Antall kandidater
- * Skriftlig eksamen plasseres på rom 3 dager før eksamensdato. Hvis mer enn ett rom er oppgitt, finner du ditt rom på Studentweb.
For mer info om oppmelding til og gjennomføring av eksamen, se "Innsida - Eksamen"