course-details-portlet

FE8135 - Nanostrukturering

Om emnet

Vurderingsordning

Vurderingsordning: Muntlig eksamen
Karakter: Bestått/Ikke bestått

Vurderingsform Vekting Varighet Hjelpemidler Delkarakter
Muntlig eksamen
Muntlig eksamen

Faglig innhold

Emnet gis under forutsetning av et tilstrekkelig antall påmeldte studenter og tilgang på sertifiserte instruktører og instrumenttid for lab-øvingene i NTNU NanoLab.

Emnet består av tre moduler som dekker sentrale teknikker for nanostrukturering av faste stoffer/tynne filmer. Disse er elektronstrålelitografi (EBL), nanoimprint litografi (NIL) og fokusert ionestråle (FIB) strukturering.

EBL-modulen inkluderer prosessering av definerte strukturer i metallag på kvarts vha. elektronstrålepådamping og etseprosesser. Spørsmål knyttet til dosering, optimalisering og begrensinger i mønstringen vil bli drøftet.

NIL-modulen vil gi en oversikt over de viktigste implementeringer av nanoimprint litografi, med vekt på foto-nanoimprint litografi (UV-NIL). Spørsmål vedrørende fremstilling av former/sjabloner, imprint på skiveskala, fortrinn, begrensninger og utfordringer ved denne teknikken for strukturering på sub-100 nm skala vil bli drøftet.

FIB-modulen vil drøfte prinsippene for dette instrumentet som verktøy for presisjonsmaskinering, deponering og avbildning av nanoskala strukturer i faste stoffer/tynne filmer. Fortrinn og utfordringer så vel som ulike anvendelser av teknikken, fra prøvepreparering for transmisjonselektronmikroskopi (TEM) til feilanalyse og korrigering av integrerte kretser (ICs), vil bli diskutert.

Læringsutbytte

Kunnskap: Emnet skal gi kunnskap om elektronstrålelitografi (EBL), nanoimprint litografi (NIL) og fokusert ionestråle (FIB) litografi.

Ferdigheter: Emnet skal gi opplæring i bruk av nevnte teknikker i renrom.

Læringsformer og aktiviteter

Forelesninger, selvstudium og laboratorieøvinger. Emnet inngår i emneporteføljen til Nasjonal forskerskole innen nanoteknologi for mikrosystem (www.nano-network.net). Faget vil undervises intensivt i form av 2-3 samlinger á 1 uke.. Modulen innen EBL undervises ved Universitetet i Bergen av professor Bodil Holst, mens NIL og FIB undervises ved NTNU, med henholdsvis professor Jostein Grepstad og professor Antonius T. J. van Helvoort som faglærere. Renrommet på NTNU NanoLab vil bli benyttet til laboratoriedelen av nanoimprint- og FIB-modulen.

Maksimalt antall studenter er 6. Studenter registrert i den nasjonale forskerskolen "Nanotechnology for Microsystems” er prioritert, med fortrinn for de som har dette kurset som ledd i sin PhD kursplan.

Vi ber om at PhD kandidater som planlegger å ta dette kurset melder seg opp før 20. november i forutgående høstsemester, da undervisningen vil bli lagt til perioden primo januar til primo februar.

Obligatoriske aktiviteter

  • Laboratorierapport

Spesielle vilkår

Vurderingsmelding krever godkjent undervisningsmelding samme semester. Obligatorisk aktivitet fra tidligere semester kan godkjennes av instituttet.

Kursmateriell

Oppgis ved semesterstart

Flere sider om emnet

Ingen

Fakta om emnet

Versjon: 2
Studiepoeng:  7.5 SP
Studienivå: Doktorgrads nivå

Undervisning

Termin nr.: 1
Undervises:  VÅR 2018

Forelesningstimer: 2
Øvingstimer: 2
Fordypningstimer: 4

Undervisningsspråk: Engelsk

-

Fagområde(r)
  • Biofysikk og medisinsk teknologi
  • Elektro-optikk/bio-optikk
  • Fysikalsk elektronikk
  • IKT
  • Material- og faststoffysikk
  • Mekanikk - Faststoffmekanikk
  • Nanoteknologi
  • Optikk
Kontaktinformasjon
Emneansvarlig/koordinator:
  • Jostein Grepstad
Faglærer(e):

Ansvarlig enhet
Institutt for elektroniske systemer

Telefon:

Eksamensinfo

Vurderingsordning: Muntlig eksamen

Termin Statuskode Vurderings-form Vekting Hjelpemidler Dato Tid Digital eksamen Rom *
Høst ORD Muntlig eksamen
Rom Bygning Antall kandidater
Høst ORD Muntlig eksamen
Rom Bygning Antall kandidater
Vår ORD Muntlig eksamen
Rom Bygning Antall kandidater
Vår ORD Muntlig eksamen
Rom Bygning Antall kandidater
  • * Skriftlig eksamen plasseres på rom 3 dager før eksamensdato. Hvis mer enn ett rom er oppgitt, finner du ditt rom på Studentweb.
Eksamensinfo

For mer info om oppmelding til og gjennomføring av eksamen, se "Innsida - Eksamen"

Mer om eksamen ved NTNU