TFE4575 - Fysiske metoder for nanostrukturering og karakterisering, fordypningsemne

Om emnet

Vurderingsordning

Vurderingsordning: Arbeider
Karakter: Bestått/Ikke bestått

Vurderingsform Vekting Varighet Hjelpemidler Delkarakter
Arbeider 100/100

Faglig innhold

Kurset inneholder modulkurs ved NTNU NanoLab innen et utvalg av følgende tema/teknikker: HMS kurs NTNU NanoLab, Litografi, SEM grunnkurs, Tynnfilmdeponering og karakterisering, PECVD og tørretsing, Elektronstrålelitografi, Postprosessering - scribing/saging og bonding.

Læringsutbytte

A. Kunnskaper:
Emnet skal gi det teoretiske og praktiske grunnlaget for å kunne jobbe i renrom generelt og det teoretiske, samt til dels det praktiske, grunnlaget for å forstå utvalgte state-of-the-art eksperimentelle teknikker for nanostrukturering og karakterisering med hovedvekt på fysiske metoder.

B. Ferdigheter:
Etter å ha fulgt undervisingen i emnet skal studentene selv kunne benytte utvalgte state-of-the-art eksperimentelle teknikker for nanostrukturering og karakterisering med hovedvekt på fysiske metoder. De utvalgte teknikkene skal være relevante for fordypningsprosjekt/masteroppgave innen Nanoteknologi/Nanoelektronikk.

Læringsformer og aktiviteter

Undervisingen vil foregå som modulkurs basert på infrastruktur i renrom, NTNU NanoLab. Det inngår trening i renromslaboratorium og praktisk opplæring og bruk av teknikker i renromslaboratorium. Hver modul vil inneholde en teoridel og en praktisk del. Det vil bli lagt stor vekt på den praktiske delen siden hensikten med fordypningsemnet er at studentene selv skal kunne benytte utvalgte state-of-the-art eksperimentelle teknikker. Studentene vil få en teoretisk gjennomgang av alle de angitte eksperimentelle teknikkene. For et utvalg av de eksperimentelle teknikkene som er mest relevante for fordypningsprosjekt vil det i tillegg tilbys praktisk demonstrasjon og praktisk prøve. Bestått praktisk prøve er nødvendig for å kunne benytte metoden selv i eget fordypningsprosjekt. Undervisningen i de valgte tema gjennomføres med aktiviteter som kan inkludere forelesninger, kollokvier, selvstudium, laboratorieøvinger, skriftlige rapporter og muntlige presentasjoner. Temaene gis som forelesninger, kollokvier, laboratorium eller som ledet selvstudium. Undervisningen blir gitt på engelsk dersom internasjonale masterstudenter følger temaet. På grunn av at alle laboratorieaktiviteter og de fleste forelesningene i kurset er obligatoriske, vil det være nødvendig for studentene å delta i undervisninga fra første uke. Selv om formell oppmeldingsdato er det samme som for andre emner, vil det ikke være mulig å bestå kurset dersom en ikke deltar på kurset fra og med første undervisningsuke. Det oppfordres også til å melde seg opp før semesterstart siden det vil lette arbeidet med å sette opp laboratoriegruppene.

Kursmateriell

Oppgis ved semesterstart.

Eksamensinfo

Vurderingsordning: Arbeider

Termin Statuskode Vurderingsform Vekting Hjelpemidler Dato Tid Rom *
Høst ORD Arbeider 100/100
  • * Skriftlig eksamen plasseres på rom 3 dager før eksamensdato.
Hvis mer enn ett rom er oppgitt, finner du ditt rom på Studentweb.