TFE4162 - Nanoelektronikk I

Om emnet

Nytt fra studieåret 2017/2018

Vurderingsordning

Vurderingsordning: Muntlig eksamen
Karakter: Bokstavkarakterer

Vurderingsform Vekting Varighet Hjelpemidler Delkarakter
Muntlig eksamen 100/100 E

Faglig innhold

En innføring i mikro- og nanofabrikasjon med fokus på silisium teknologi for framstilling av sensorer og aktuatorer. Grunnleggende mekanikk for konstruksjon av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) vil behandles. Ulike sensor- og aktuatorprinsipper, slik som piezoresistivt, kapasitivt, termisk, piezoelektrisk og optisk prinsipp vil gjennomgås. Design og framstilling av ulike typer sensorer slik som trykksensorer, akselrometre, gyroskoper og gassensorer vil gjennomgås i detalj. I tillegg vil optiske, termiske, kjemiske og biologiske sensorer og aktuatorer og deres anvendeleser diskuteres.

Læringsutbytte

Emnet skal gi prinsipper for og innføring i mikro- og nanofabrikasjon av sensorer og aktuatorer i silisium.

Kunnskaper:
- beskrive grunnleggende egenskaper for og anvendelser av mikrosystem-teknologi,
- beskrive generelle karakteristika for sensorer og aktuatorer,
- beskrive funksjonsprinsipper og oppbygging av ulike typer mikro elektromekaniske sensorer og aktuatorer,
- ha kjennskap til de viktigste avveiningene og grunnprinsippene for design og optimalisering av MEMS,
- kjenne de ulike fabrikasjonsprosessene for produksjon av MEMS,
- kunne gjennomføre enkle beregninger av elektromekaniske egenskaper for mikro elektromekaniske komponenter.

Ferdigheter:
- kunne benytte ervervet kunnskap til å foreslå valg av egnet sensor- eller aktuatorprinsipp for å oppnå en bestemt funksjon,
- kunne benytte ervervet kunnskap til å velge optimalt sensor- eller aktuatordesign,
- kunne benytte ervervet kunnskap til å foreslå egnet prosess for framstilling av en spesifikk mikro elektromekanisk komponent.

Generelle ferdigheter:
- kunne sette mikrosystemteknologi i sammenheng med viktige utviklingstrekk innen informasjonsteknologi.

Læringsformer og aktiviteter

Forelesninger, regneøvinger. Emnet kan bli forelest på engelsk.

Obligatoriske aktiviteter

  • Øvinger

Spesielle vilkår

Vurderingsmelding krever godkjent undervisningsmelding samme semester. Obligatorisk aktivitet fra tidligere semester kan godkjennes av instituttet.

Kursmateriell

Oppgis ved semesterstart.

Eksamensinfo

Vurderingsordning: Muntlig eksamen

Termin Statuskode Vurderingsform Vekting Hjelpemidler Dato Tid Rom *
Høst ORD Muntlig eksamen 100/100 E 01.12.2017 09:00
  • * Skriftlig eksamen plasseres på rom 3 dager før eksamensdato.
Hvis mer enn ett rom er oppgitt, finner du ditt rom på Studentweb.