Faglig innhold

Faget består at tre moduler som dekker sentrale teknikker for nanostrukturering av faste stoffer. Disse er elektronstrålelitografi (EBL), nanoimprint og fokusert ione (FIB) litografi.

EBL-modulen inkluderer prosessering av definerte strukturer i metallag vha. med elektronstrålepådamping og etseprosesser. Spørsmål knyttet til dosering, optimalisering og begrensinger i mønstringen vil bli drøftet.

Nanoimprint-modulen vil gi en oversikt over de viktigste implementeringer av nanoimprint-litografi, med vekt på fotonanoimprint-litografi (P-NIL). Spørsmål vedrørende fremstilling av former/sjabloner, imprint på skiveskala, fortrinn, begrensninger og utfordringer ved denne teknikken for strukturering på sub-100 nm skala vil bli drøftet.

FIB-modulen vil drøfte prinsippene for dette instrumentet, benyttet som verktøy for presisjonsmaskinering, deponering og avbildning av nanoskala strukturer i faste stoffer. Fortrinn og utfordringer, så vel som ulike anvendelser av denne teknikken, fra prøvepreparering for transmisjon elektromikroskopi (TEM) til feilanalyse og korrigeringer av integrerte kretser (ICs) vil bli diskutert.

Læringsutbytte

Kunnskap: Emnet skal gi kunnskap om elektronstrålelitografi (EBL), nanoimprint og fokusert ionestrålelitografi (FIB).

Ferdigheter: Emnet skal gi opplæring i bruk av nevnte teknikker på renrom.

Læringsformer og aktiviteter

Forelesninger, selvstudium og laboratorieøvinger. Emnet inngår i emneporteføljen til Nasjonal forskerskole innen nanoteknologi for mikrosystem (www.nano-network.net), og faget vil undervises på tre samlinger á 1 uke, til sammen 3 uker. Modulen innen EBL undervises ved Universitetet i Bergen av professor Bodil Holst, mens nanoimprint og FIB undervises ved NTNU, med henholsvis professor Jostein Grepstad og førsteamanuensis Antonius T. J. van Helvoort som faglærere. Renrommet på NTNU NanoLab vil bli benyttet til i laboratoriedelen av nanoimprint- og FIB-modulen.

Maksimalt antall studenter er 8. Studenter som er registrert i «Nasjonal forskerskole innen nanoteknologi for microsystem”, og som har kurset som en del av sin PhD kursplan, vil bli prioritert.

Obligatoriske aktiviteter

• Laboratorierapport

Anbefalte forkunnskaper

Tynnfilm/halvlederteknologi, faste stoffers fysikk/kjemi
Sveipeelektronmikroskopi (SEM)

Kursmateriell

Oppgis ved semesterstart