course-details-portlet

TFE4225 - MEMS-design

Om emnet

Vurderingsordning

Vurderingsordning: Muntlig eksamen
Karakter: Bokstavkarakterer

Vurdering Vekting Varighet Delkarakter Hjelpemidler
Muntlig 100/100

Faglig innhold

En innføring i mikro- og nanofabrikasjon med fokus på silisium teknologi for framstilling av sensorer og aktuatorer. Grunnleggende mekanikk for konstruksjon av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) vil behandles. Ulike sensor- og aktuatorprinsipper, slik som piezoresistivt, kapasitivt, termisk, piezoelektrisk og optisk prinsipp vil gjennomgås. Design og framstilling av ulike typer sensorer slik som trykksensorer, akselrometre, gyroskoper og gassensorer vil gjennomgås i detalj. I tillegg vil optiske, termiske, kjemiske og biologiske sensorer og aktuatorer og deres anvendeleser diskuteres.

Læringsutbytte

Emnet skal gi prinsipper for og innføring i mikro- og nanofabrikasjon av sensorer og aktuatorer i silisium.

Kunnskaper:
- beskrive grunnleggende egenskaper for og anvendelser av mikrosystem-teknologi,
- beskrive generelle karakteristika for sensorer og aktuatorer,
- beskrive funksjonsprinsipper og oppbygging av ulike typer mikro elektromekaniske sensorer og aktuatorer,
- ha kjennskap til de viktigste avveiningene og grunnprinsippene for design og optimalisering av MEMS,
- kjenne de ulike fabrikasjonsprosessene for produksjon av MEMS,
- kunne gjennomføre enkle beregninger av elektromekaniske egenskaper for mikro elektromekaniske komponenter.

Ferdigheter:
- kunne benytte ervervet kunnskap til å foreslå valg av egnet sensor- eller aktuatorprinsipp for å oppnå en bestemt funksjon,
- kunne benytte ervervet kunnskap til å velge optimalt sensor- eller aktuatordesign,
- kunne benytte ervervet kunnskap til å foreslå egnet prosess for framstilling av en spesifikk mikro elektromekanisk komponent.

Generelle ferdigheter:
- kunne sette mikrosystemteknologi i sammenheng med viktige utviklingstrekk innen informasjonsteknologi.

Læringsformer og aktiviteter

Forelesninger, regneøvinger. Ved utsatt eksamen (kontinuasjonseksamen) kan muntlig eksamen bli endret til skriftlig eksamen. Emnet kan bli forelest på engelsk.

Obligatoriske aktiviteter

  • Øvinger

Kursmateriell

Oppgis ved semesterstart.

Studiepoengreduksjon

Emnekode Reduksjon Fra Til
FE8130 7.5
FE8805 7.5
TFE4167 3.7
TFE4168 3.7
Flere sider om emnet

Ingen

Fakta om emnet

Versjon: 1
Studiepoeng:  7.5 SP
Studienivå: Høyere grads nivå

Undervisning

Termin nr.: 1
Undervises:  HØST 2014

Undervisningsspråk: Engelsk

-

Fagområde(r)
  • Teknologiske fag
Kontaktinformasjon
Emneansvarlig/koordinator:
  • Ralph W. Bernstein
Faglærer(e):
  • Ralph W. Bernstein

Ansvarlig enhet
Institutt for elektroniske systemer

Eksamensinfo

Vurderingsordning: Muntlig eksamen

Termin Statuskode Vurdering Vekting Hjelpemidler Dato Tid Eksamens- system Rom *
Høst ORD Muntlig 100/100 08.12.2014 09:00
Rom Bygning Antall kandidater
Sommer KONT Muntlig 100/100
Rom Bygning Antall kandidater
  • * Skriftlig eksamen plasseres på rom 3 dager før eksamensdato. Hvis mer enn ett rom er oppgitt, finner du ditt rom på Studentweb.
Eksamensinfo

For mer info om oppmelding til og gjennomføring av eksamen, se "Innsida - Eksamen"

Mer om eksamen ved NTNU