FE8805 - MEMS-design
Om emnet
Vurderingsordning
Vurderingsordning: Muntlig
Karakter: Bokstavkarakterer
| Vurderingsform | Vekting | Varighet | Hjelpemidler | Avvikende karakter |
|---|---|---|---|---|
| Muntlig eksamen | 100/100 | D |
Faglig innhold
Emnet skal foreleses hvert år, første gang høst 2008.
En innføring i mikro- og nanofabrikasjon med fokus på silisium teknologi for framstilling av sensorer og aktuatorer. Grunnleggende mekanikk for konstruksjon av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) vil behandles. Ulike sensor- og aktuatorprinsipper, slik som piezoresistivt, kapasitivt, termisk, piezoelektrisk og optisk prinsipp vil gjennomgås. Design og framstilling av ulike typer sensorer slik som trykksensorer, akselrometre, gyroskoper og gassensorer vil gjennomgås i detalj. I tillegg vil optiske, termiske, kjemiske og biologiske sensorer og aktuatorer og deres anvendeleser diskuteres.
Læringsmål
Emnet skal gi prinsipper for og innføring i mikro- og nanofabrikasjon av sensorer og aktuatorer i silisium.
Læringsformer og aktiviteter
Forelesninger, regneøvinger. Ved utsatt eksamen (kontinuasjonseksamen) kan muntlig eksamen bli endret til skriftlig eksamen.
Obligatoriske aktiviteter
- Øvinger
Spesielle vilkår
Vurderingsmelding krever godkjent undervisningsmelding samme semester eller godkjent obligatorisk aktivitet tidligere semester.
Anbefalte forkunnskaper
TKT4116 Mekanikk 1 eller tilsvarende kunnskaper.
Forkunnskapskrav
Ingen
Kursmateriell
Oppgis ved semesterstart.
Studiepoengreduksjon
| Emnekode | Reduksjon | Fra | Til |
|---|---|---|---|
| FE8130 | 5.0 | 01.09.2011 | |
| TFE4225 | 7.5 | 01.09.2008 |
