FE8130 - MEMS teknologi og design

Om emnet

Vurderingsordning

Vurderingsordning: Muntlig eksamen
Karakter: Bestått/Ikke bestått

Vurderingsform Vekting Varighet Hjelpemidler Delkarakter
Muntlig eksamen 100/100 40 minutter D

Faglig innhold

Emnet skal foreleses hvert år, første gang høst 2011.
En innføring i mikro- og nanofabrikasjon med fokus på silisium teknologi for framstilling av sensorer og aktuatorer. Grunnleggende mekanikk for konstruksjon av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) vil behandles. Ulike sensor- og aktuatorprinsipper, slik som piezoresistivt, kapasitivt, termisk, piezoelektrisk og optisk prinsipp vil gjennomgås. Design og framstilling av ulike typer sensorer slik som trykksensorer, akselrometre, gyroskoper og gassensorer vil gjennomgås i detalj. I tillegg vil optiske, termiske, kjemiske og biologiske sensorer og aktuatorer og deres anvendeleser diskuteres.

Læringsutbytte

Emnet skal gi studenten en innføring i design og anvendelser Mikro ElektroMekaniske Systemer (MEMS), og prosesser for å framstille disse.

Kunnskaper
• beskrive grunnleggende egenskaper for og anvendelser av mikrosystem-teknologi,
• beskrive generelle karakteristika for sensorer og aktuatorer,
• beskrive funksjonsprinsipper og oppbygging av ulike typer mikro elektromekaniske sensorer og aktuatorer,
• ha kjennskap til de viktigste avveiningene og grunnprinsippene for design og optimalisering av MEMS,
• kjenne de ulike fabrikasjonsprosessene og materialvalg for produksjon av MEMS,
• kunne gjennomføre beregninger av elektromekaniske egenskaper for en mikro elektromekanisk komponent,
• kunne beskrive gitte case-studier for design, optimalisering og produksjon for bestemte mikro elektromekansike komponenter.

Ferdigheter
• kunne benytte ervervet kunnskap til å foreslå valg av egnet sensor- eller aktuatorprinsipp for å oppnå en bestemt funksjon,
• kunne benytte ervervet kunnskap til å velge optimalt sensor- eller aktuatordesign,
• kunne benytte ervervet kunnskap til å foreslå egnet prosess for framstilling av en spesifikk mikro elektromekanisk komponent.

Generelle ferdigheter
• kunne sette mikrosystemteknologi i sammenheng med viktige utviklingstrekk innen informasjonsteknologi.

Læringsformer og aktiviteter

Forelesninger, regneøvinger. Ved utsatt eksamen (kontinuasjonseksamen) kan muntlig eksamen bli endret til skriftlig eksamen.

Obligatoriske aktiviteter

  • Øvinger

Spesielle vilkår

Vurderingsmelding krever godkjent undervisningsmelding samme semester. Obligatorisk aktivitet fra tidligere semester kan godkjennes av instituttet.

Kursmateriell

Oppgis ved semesterstart.

Studiepoengreduksjon

Emnekode Reduksjon Fra Til
FE8805 5.0 01.09.2011
TFE4225 7.5 01.09.2011

Eksamensinfo

Vurderingsordning: Muntlig eksamen

Termin Statuskode Vurderingsform Vekting Hjelpemidler Dato Tid Rom *
Høst ORD Muntlig eksamen 100/100 D 01.12.2017 09:00
Vår ORD Muntlig eksamen 100/100 D
  • * Skriftlig eksamen plasseres på rom 3 dager før eksamensdato.
Hvis mer enn ett rom er oppgitt, finner du ditt rom på Studentweb.