Område for karakterisering

Renromsarealet for karakterisering kan tilby avansert mikroskopi, to rom tilpasset mørkeromsarbeid, samt arbeidsplasser for generell prøvepreparering. Renheten i dette området varierer fra renhetsklasse ISO 7 (10 000) til ISO 5 (100) avhengig av behov. Hele området er bygget i henhold til GMO II, laboratorieklasse 2.

Renromsarealet er utrustet for følgende typer aktivitet:

  • S(T)EM for avbildning og materialanalyse (EDS)
  • Fokusert ionestråleetser (Dual beam FIB) for mikrostrukturering, TEM-prøvepreparering, og 3D-slice and view av materialer, inkl materialanalyse (EDAX)
  • SEM (lavvakuum) for rask og enkel avbildning og materialanalyse (EDS)
  • Overflatekarakterisering med AFM i luft, inert gass og væske
  • Overflatekarakterisering med profilometer
  • Prøvepreparering for elektronmikroskopi

Spesialisert utstyr:

  • Sveipelektronmikroskop kombinert med fokusert ionestråle-etser (FIB).
  • Sveipelektronmikroskop for høyoppløst avbildning, inklusive STEM-opsjon.
  • Sveipelektronmikroskop for rask lavoppløst avbildning
  • Forskning-AFM og enklere AFM
  • Optiske mikroskop
  • Profilometer
  • Enkle STM
  • Sputtercoatere, plasmarenser og UV/ozon-renser

Informasjon om renrommet